光伏及半导体行业产品-反应烧结碳化硅舟

主要特点

碳化硅舟（光伏级）结构稳定，材料热稳定性能好，高温使用不变形，（半导体级）材料纯度高，具有高纯度基体和碳化硅薄膜，避免了杂质引入，减少了工艺制程中对设备环境的污染，有效提高产品品质。

详细说明

光伏行业普遍使用的石英舟托及舟，因其生产工艺和石英材料特性，使用寿命为3-6个月，碳化硅舟托及舟，代替石英，使用寿命可达5年以上，可显著降低使用成本及维护维修停线造成的产能损失。

应用范围

适用于光伏设备，半导体设备中晶圆的关键承载部件。
碳化硅舟应用半导体立式炉，主要应用于高温氧化环节和高温退火环节。