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宏诚hc-01-63 匀胶铬版,光掩模基板 Photomask substrates


详细说明

匀胶铬版是一种硬面光掩模材料,即光掩膜基版,它是当前及未来微细加工光掩膜制作的主流感光材料(相当于照相用的感光胶卷)。它是在平整的、高光洁度的玻璃基版上通过直流磁控溅射(SP)沉积上氮化铬-氮氧化铬薄膜而形成铬膜基版,再在其上涂敷一层光致抗蚀剂(又称光刻胶)或电子束抗蚀剂制成匀胶铬版。(匀胶铬版是掩膜版的基材)

特性:匀胶铬版具有高的感光灵敏度、高分辨率、低缺陷密度、耐磨性好、易清洁处理、使用寿命长等特点,

二、应用

 产品广泛应用于半导体集成电路芯片制造、集成电路高密度引线框架、半导体元器件、面板显示器件、光学行业掩膜版、高密度印制线路板(PCB)行业等。

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